ప్రత్యేక గ్యాస్ టెయిల్ గ్యాస్ ట్రీట్మెంట్ గ్యాస్ యొక్క అనువర్తనం

టెయిల్ గ్యాస్ చికిత్స పరికరాలు సెమీకండక్టర్, లిక్విడ్ క్రిస్టల్ మరియు సౌర శక్తి పరిశ్రమలలో ఎచింగ్ ప్రక్రియలు మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే వాయువులను నిర్వహించగలవు, వీటిలో SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, N2O, మరియు SOL తో సహా.

వాయువు చికిత్స పద్ధతి

ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ చికిత్స యొక్క లక్షణాల ప్రకారం, చికిత్సను నాలుగు రకాల చికిత్సలుగా విభజించవచ్చు:

1. వాటర్ వాషింగ్ రకం (తినివేయు వాయువుల చికిత్స)

2. ఆక్సీకరణ రకం (దహన మరియు విష వాయువులతో వ్యవహరించడం)

3. అధిశోషణం (సంబంధిత ఎగ్జాస్ట్ వాయువుతో వ్యవహరించడానికి అధిశోషణం పదార్థం రకం ప్రకారం).

4.ప్లాస్మా దహన రకం (అన్ని రకాల ఎగ్జాస్ట్ వాయువులను చికిత్స చేయవచ్చు).

ప్రతి రకమైన చికిత్సకు దాని స్వంత ప్రయోజనాలు మరియు అప్రయోజనాలు మరియు దాని అనువర్తన పరిధిని కలిగి ఉంటుంది. చికిత్సా పద్ధతి నీటి కడగడం అయినప్పుడు, పరికరాలు చౌకగా మరియు సరళంగా ఉంటాయి మరియు నీటిలో కరిగే వాయువులను మాత్రమే నిర్వహించగలవు; ఎలక్ట్రిక్ వాషింగ్ రకం యొక్క అప్లికేషన్ పరిధి వాటర్ వాషింగ్ రకం కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది, కానీ ఆపరేషన్ ఖర్చు ఎక్కువగా ఉంటుంది; పొడి రకం మంచి చికిత్స సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంది మరియు గ్యాస్ ప్రవాహానికి వర్తించదు, అది అడ్డుపడటం లేదా ప్రవహించడం సులభం.

రసాయనాలు మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో సాధారణంగా ఉపయోగించే వాటి ఉప-ఉత్పత్తులు వాటి రసాయన లక్షణాలు మరియు వాటి విభిన్న శ్రేణుల ప్రకారం వర్గీకరించబడతాయి:

1. SIH4H2 వంటి మండే వాయువులు మొదలైనవి.

2. యాష్ 3, పిహెచ్ 3, వంటి విష వాయువులు మొదలైనవి.

3. హెచ్‌ఎఫ్, హెచ్‌సిఎల్ వంటి తినివేయు వాయువులు మొదలైనవి.

4. CF4, NF3, వంటి గ్రీన్హౌస్ వాయువులు మొదలైనవి.

పై నాలుగు వాయువులు పర్యావరణానికి లేదా మానవ శరీరానికి హానికరం కాబట్టి, వాతావరణంలోకి దాని ప్రత్యక్ష ఉద్గారాలను నిరోధించాలి, కాబట్టి సాధారణ సెమీకండక్టర్ ప్లాంట్ పెద్ద కేంద్రీకృత ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ చికిత్స వ్యవస్థతో వ్యవస్థాపించబడుతుంది, అయితే ఈ వ్యవస్థ వాటర్ స్క్రబ్బింగ్ ఎగ్జాస్ట్ మాత్రమే, కాబట్టి దాని అప్లికేషన్ దీర్ఘకాలిక నీటిలో కరిగే వాయువులకు పరిమితం చేయబడింది మరియు ఎప్పటికప్పుడు-ఛేంజింగ్ మరియు సెమీసికాండరర్ గ్యాస్ యొక్క సబ్యూర్ డివిజన్‌తో వ్యవహరించలేము. అందువల్ల, ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ సమస్యను చిన్న మార్గంలో పరిష్కరించడానికి ప్రతి ప్రక్రియ నుండి పొందిన గ్యాస్ లక్షణాల ప్రకారం సంబంధిత ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ చికిత్స పరికరాలను ఎంచుకోవడం మరియు సరిపోల్చడం అవసరం. పని ప్రాంతం ఎక్కువగా సెంట్రల్ ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ ట్రీట్మెంట్ సిస్టమ్ నుండి దూరంగా ఉన్నందున, తరచుగా గ్యాస్ లక్షణాల కారణంగా పైప్‌లైన్‌లో స్ఫటికీకరణ లేదా ధూళి చేరడానికి దారితీస్తుంది, దీని ఫలితంగా పైప్‌లైన్ గ్యాస్ లీకేజీకి దారితీస్తుంది, మరియు తీవ్రమైన సందర్భాల్లో, పేలుడుకు కూడా కారణమవుతుంది, సైట్ సిబ్బంది పని భద్రతను నిర్ధారించలేము. అందువల్ల, పని ప్రదేశంలో, సిబ్బంది యొక్క భద్రతను నిర్ధారించడానికి, పని ప్రాంతంలో స్థిరమైన ఎగ్జాస్ట్ వాయువును తగ్గించడానికి, ప్రాసెస్ గ్యాస్ యొక్క లక్షణాలకు అనువైన చిన్న ఎగ్జాస్ట్ గ్యాస్ చికిత్స పరికరాలను కాన్ఫిగర్ చేయాలి.