సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో గ్యాస్ పరిశ్రమ

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వాయువుల వాడకం 1950 ప్రారంభం నుండి 1960 ల నాటిది. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, వాయువులు ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ పదార్థాలను శుభ్రపరచడానికి మరియు రక్షించడానికి ఉపయోగిస్తారు, వాటి స్వచ్ఛత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి. సాధారణంగా ఉపయోగించే వాయువులలో నత్రజని మరియు హైడ్రోజన్ ఉన్నాయి.

సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధి చెందడంతో మరియు ఉత్పాదక ప్రక్రియలు మెరుగుపడుతూనే, వాయువుల డిమాండ్ పెరిగింది. 1970 లో, సెమీకండక్టర్ తయారీ సాంకేతిక పరిజ్ఞానం యొక్క మరింత అభివృద్ధి, సన్నని చలనచిత్రాల ఎచింగ్ మరియు నిక్షేపణ వంటి కీలక ప్రక్రియలలో వాయువుల అనువర్తనం క్రమంగా పెరిగింది, మరియు ఫ్లోరైడ్ వాయువులు (ఉదా. SF6) మరియు ఆక్సిజన్ సాధారణంగా ఎచింగ్ మరియు డిపాజిషన్ వాయువులుగా ఉపయోగించబడ్డాయి. 1980 లో ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల అభివృద్ధి మరియు వాటికి డిమాండ్ పెరగడంతో వాయువుల డిమాండ్ మరింత పెరిగింది. హైడ్రోజన్ ఎనియలింగ్ మరియు హైడ్రోజన్ ఆవిరి నిక్షేపణతో సహా తయారీ ప్రక్రియలో హైడ్రోజన్ విస్తృతంగా ఉపయోగించబడింది. 1990 నుండి ఇప్పటి వరకు, సెమీకండక్టర్ పరికర పరిమాణాలు తగ్గిపోతూనే మరియు కొత్త ప్రక్రియలు ప్రవేశపెట్టబడినందున అధిక-స్వచ్ఛత వాయువులు మరియు నిర్దిష్ట వాయువుల డిమాండ్ పెరిగింది. ఉదాహరణకు, విపరీతమైన అతినీలలోహిత లితోగ్రఫీ (EUV) యొక్క అనువర్తనానికి నత్రజని మరియు హైడ్రోజన్ వంటి అధిక-స్వచ్ఛత వాయువులను ఉపయోగించడం అవసరం.

ఎక్కువ ఉత్పత్తుల ద్వారా నడిచే సంబంధిత ఉత్పత్తుల అభివృద్ధితో సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ పెరుగుతూనే ఉంది, అయితే గ్యాస్ కూడా ప్రమాదాల మూలానికి చెందినది, కాబట్టి గ్యాస్ డికంప్రెషన్, గ్యాస్ డిటెక్షన్ ఉత్పత్తులు మరియు గ్యాస్ లీకేజ్ ఉత్పత్తుల కోసం ఉపయోగించే ఉత్పత్తులు ప్రెజర్ రెగ్యులేటర్లు, గ్యాస్ కవాటాలు, గ్యాస్ ప్రెజర్ గేజ్‌లు, గ్యాస్ లీకేజ్ డిటెక్టర్ మొదలైనవి మరియు వారి రోల్‌లు వంటివి ఉద్భవించాయి.

ప్రెజర్ రెగ్యులేటర్లు: ప్రెజర్ రెగ్యులేటర్లు గ్యాస్ పీడనాన్ని నియంత్రించడానికి ఉపయోగించే పరికరాలు. అవి సాధారణంగా రెగ్యులేటర్ వాల్వ్ మరియు ప్రెజర్ సెన్సార్ కలిగి ఉంటాయి. ప్రెజర్ రెగ్యులేటర్లు అధిక పీడన గ్యాస్ ఇన్పుట్ తీసుకొని నిర్దిష్ట అనువర్తన అవసరాలను తీర్చడానికి వాల్వ్‌ను సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా అవుట్పుట్ వాయువు యొక్క ఒత్తిడిని స్థిరీకరిస్తాయి. గ్యాస్ సరఫరా యొక్క స్థిరత్వం మరియు భద్రతను నిర్ధారించడానికి పరిశ్రమ, తయారీ మరియు ప్రయోగశాలలు, అలాగే సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ప్రెజర్ రెగ్యులేటర్లు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.

గ్యాస్ కవాటాలు: వాయువుల ప్రవాహాన్ని నియంత్రించడానికి మరియు గ్యాస్ ప్రవాహాలను మూసివేయడానికి గ్యాస్ కవాటాలు ఉపయోగించబడతాయి. వారు సాధారణంగా ఆన్/ఆఫ్ ఫంక్షన్ కలిగి ఉంటారు, అది గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని తెరుస్తుంది లేదా మూసివేస్తుంది. మాన్యువల్ కవాటాలు, ఎలక్ట్రిక్ కవాటాలు మరియు వాయు కవాటాలతో సహా వివిధ రకాల గ్యాస్ కవాటాలు ఉన్నాయి. వాయువుల ప్రవాహం, పీడనం మరియు ప్రవాహం రేటును నియంత్రించడానికి గ్యాస్ వ్యవస్థలలో ఇవి విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.

గ్యాస్ ప్రెజర్ గేజ్‌లు: వాయువు యొక్క పీడన స్థాయిని కొలవడానికి గ్యాస్ ప్రెజర్ గేజ్‌లు ఉపయోగించబడతాయి. పీడన మార్పులను పర్యవేక్షించడానికి మరియు అవి సురక్షితమైన పరిమితుల్లో ఉన్నాయని నిర్ధారించడానికి అవి సాధారణంగా గ్యాస్ సిస్టమ్‌లోని క్లిష్టమైన ప్రదేశాలలో వ్యవస్థాపించబడతాయి. గ్యాస్ ప్రెజర్ గేజ్‌లు పరిశ్రమ, తయారీ మరియు ప్రయోగశాలలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కూడా పాల్గొంది.

the presence of gas leaks and sound an alarm so that timely action can be taken to prevent leakage accidents. పారిశ్రామిక, రసాయన, చమురు మరియు గ్యాస్ అనువర్తనాలలో గ్యాస్ లీక్ డిటెక్టర్లు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కూడా పాల్గొంది.