సెమీకండక్టర్ మార్కెట్ పెరిగేకొద్దీ, స్వచ్ఛత మరియు ఖచ్చితత్వానికి ప్రమాణాలు మరింత కఠినంగా మారతాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీ నాణ్యతలో నిర్ణయించే కారకాల్లో ఒకటి ఈ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే వాయువులు. ఈ వాయువులు తయారీ ప్రక్రియలో అనేక పాత్రలు పోషిస్తాయి, వీటిలో:
ఖచ్చితమైన ప్రక్రియ నియంత్రణ
కాలుష్యం నివారణ
మెటలర్జికల్ ఆస్తి మెరుగుదల
ఈ పాత్రలను సమర్థవంతంగా నిర్వహించడానికి, గ్యాస్ సరఫరా మరియు పంపిణీ వ్యవస్థ సమర్థవంతంగా ఉండాలి. సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే గ్యాస్ హ్యాండ్లింగ్ వ్యవస్థల రూపకల్పనకు సెమీకండక్టర్ల యొక్క నమ్మకమైన మరియు అధిక నాణ్యత గల ఉత్పత్తిని నిర్ధారించడానికి బలమైన భాగాలు మరియు అనుకూలీకరించిన సమావేశాలు మద్దతు ఇవ్వాలి.
సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే వాయువులు
సెమీకండక్టర్ల తయారీ ప్రక్రియకు ప్రక్రియ యొక్క వివిధ దశలలో వేర్వేరు వాయువుల వాడకం అవసరం.
నత్రజని, హైడ్రోజన్, ఆర్గాన్ మరియు హీలియం వంటి సాధారణ వాయువులను వాటి స్వచ్ఛమైన రూపంలో ఉపయోగించవచ్చు, కొన్ని ప్రక్రియలకు ప్రత్యేకమైన మిశ్రమాలు అవసరం కావచ్చు. సిలాన్లు లేదా సిలోక్సేన్స్, హెక్సాఫ్లోరైడ్స్, హాలైడ్స్ మరియు హైడ్రోకార్బన్లు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే ప్రత్యేక వాయువులలో కొన్ని. ఈ వాయువులు చాలా ప్రమాదకర లేదా అధిక రియాక్టివ్‌గా ఉంటాయి, గ్యాస్ సిస్టమ్స్ కోసం భాగాల ఎంపిక మరియు రూపకల్పనలో సవాళ్లను సృష్టిస్తాయి.
ఇక్కడ కొన్ని ఉదాహరణలు ఉన్నాయి:
\ హైడ్రోజన్ మరియు హీలియం వాటి చిన్న అణు పరిమాణం మరియు బరువు కారణంగా పైపింగ్ మరియు ఫిట్టింగ్ వ్యవస్థల నుండి సులభంగా లీక్ అవుతాయి.
\ సిలేన్లు చాలా మండేవి మరియు గాలిలో ఆకస్మికంగా దహన (ఆటోఇగ్నైట్).
\ నిక్షేపణ, చెక్కడం మరియు గది శుభ్రపరిచే దశలలో ఉపయోగించే నత్రజని డిఫ్లోరైడ్ పర్యావరణంలోకి లీక్ అయినప్పుడు శక్తివంతమైన గ్రీన్హౌస్ వాయువు అవుతుంది.
\ హైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్ (ఎచింగ్ గ్యాస్) మెటల్ పైపింగ్‌కు చాలా తినివేస్తుంది.
\ ట్రిమెథైల్గల్లియం మరియు అమ్మోనియాను నిర్వహించడం కష్టం - వాటి ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడన అవసరాలలో చిన్న హెచ్చుతగ్గులు నిక్షేపణ ప్రక్రియను ప్రభావితం చేస్తాయి.
ఈ వాయువుల యొక్క ప్రతికూల ప్రభావాలను తగ్గించడానికి ప్రక్రియ పరిస్థితులను నియంత్రించడం సిస్టమ్ రూపకల్పన సమయంలో మొదటి ప్రాధాన్యతగా ఉండాలి. బిల్డ్ ప్రక్రియలో AFK డయాఫ్రాగమ్ కవాటాలు వంటి అత్యధిక నాణ్యత గల భాగాలను ఉపయోగించడం కూడా అంతే ముఖ్యం.
సిస్టమ్ డిజైన్ సవాళ్లను పరిష్కరించడం
సెమీకండక్టర్ గ్రేడ్ వాయువులు అధిక స్వచ్ఛతతో ఉంటాయి మరియు ఎట్చ్ మరియు డిపాజిషన్ వాయువులు వంటి ఉత్పాదక ప్రక్రియ యొక్క వివిధ దశలలో జడ పరిస్థితులను అందిస్తాయి లేదా ప్రతిచర్యలను పెంచుతాయి. అటువంటి వాయువుల లీకేజ్ లేదా కాలుష్యం ప్రతికూల ప్రభావాలను కలిగిస్తుంది. అందువల్ల, హెర్మెటికల్‌గా మూసివున్న మరియు తుప్పు నిరోధకతతో కూడిన సిస్టమ్ భాగాలకు అలాగే మృదువైన ఉపరితల ముగింపు (ఎలెక్ట్రోలైటిక్ పాలిషింగ్) కలిగి ఉండటం చాలా క్లిష్టమైనది, కాలుష్యం వచ్చే అవకాశం లేదని మరియు చాలా ఎక్కువ స్థాయి పరిశుభ్రతను నిర్వహించవచ్చు.
అదనంగా, కావలసిన ప్రక్రియ పరిస్థితులను సాధించడానికి ఈ వాయువులలో కొన్ని వేడి చేయబడతాయి లేదా చల్లబడతాయి. బాగా ఇన్సులేటెడ్ భాగాలు ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను నిర్ధారిస్తాయి, ఇది తుది ఉత్పత్తి యొక్క సమర్థవంతమైన పనితీరుకు కీలకం.
సోర్స్ ఇన్లెట్ నుండి ఉపయోగం వరకు, AFK యొక్క విస్తృత భాగాలు సెమీకండక్టర్ క్లీన్‌రూమ్‌లు మరియు వాక్యూమ్ గదులలో అవసరమైన అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛత, ఉష్ణోగ్రత, పీడనం మరియు ప్రవాహ నియంత్రణకు మద్దతు ఇస్తాయి.
సెమీకండక్టర్ ఫాబ్స్‌లో నాణ్యమైన భాగాలతో రూపొందించిన వ్యవస్థలు
సెమీకండక్టర్ల యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ మరియు సురక్షితమైన తయారీకి నాణ్యమైన భాగాలు మరియు డిజైన్ ఆప్టిమైజేషన్ పాత్ర కీలకం. తయారీ యొక్క వివిధ దశలలో అవసరమైన వివిధ ప్రక్రియ పరిస్థితులకు సరిపోయేలా ఉపయోగించిన భాగాలు దృ and ంగా మరియు లీక్-ఫ్రీగా ఉండాలి. AFK యొక్క అధిక-నాణ్యత కవాటాలు, అమరికలు, నియంత్రకాలు, పైపింగ్ మరియు సీలింగ్ బ్రాకెట్లు ఈ క్రింది లక్షణాల ద్వారా వర్గీకరించబడతాయి:
అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛత
లీక్-ఫ్రీ సీల్స్
ఉష్ణోగ్రత నియంత్రిత ఇన్సులేషన్
పీడన నియంత్రణ
తుప్పు నిరోధకత
ఎలక్ట్రోలైటిక్ పాలిషింగ్ చికిత్స
పోస్ట్ సమయం: అక్టోబర్ -09-2023